| 标准名称： | 俄歇电子能谱分析方法通则 |
| 英文名称： | General rules for Auger electron spectroscopic analysis |
| 中标分类： | 仪器、仪表 >> 光学仪器 >> 电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS分类： | |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2011-05-12 |
| 实施日期： | 2011-12-01 |
| 首发日期： | 2011-05-12 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 提出单位： | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： | 清华大学化学系 |
| 起草人： | 姚文清、李展平、曹立礼、朱永法 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2011-12-01 |
| 页数： | 16页 |
本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。
本标准适用于俄歇电子能谱仪。
没有内容
前言 Ⅲ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 方法原理 1 5 仪器 2 5.1 仪器组成 2 5.2 仪器性能 3 6 样品 3 7 分析步骤 4 7.1 能量标尺校正 4 7.2 AES定性分析及操作步骤 6 7.3 俄歇电子能谱的定量分析 6 7.4 深度剖析 7 7.5 元素化学态分析 7 8 分析结果的表述 7 8.1 俄歇全谱 7 8.2 窄谱 7 8.3 线扫描谱 7 8.4 深度剖析谱 7 8.5 多点显微对比分析 8 8.6 样品表面元素分布图(Augermap) 8 8.7 分析结果表述方式 8 图1 KL1L3 俄歇跃迁 2 图2 俄歇电子能谱简图 2 图3 Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0.3%) 5 表1 参考物质的俄歇电子动能参考值 4
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇
ISO/TR15969:2001 表面化学分析 深度分析 溅射深度的测量(SurfaceChemicalAnalysis—DepthProfiling—MeasurementofSputteredDepth)
ISO18116:2005 表面化学分析 表面分析样品的制备和固定方法指南(SurfaceChemicalAnalysis—GuidelinesforPreparationandMountingofSpecimensforAnalysis)
ISO18118:2002(E) 表面化学分析 AES和XPS均匀材料定量分析所用的实验相对灵敏度因子使用指南(SurfaceChemicalAnalysis—AESandXPS—GuidetouseofExperimentalRelativeSensitivityFactorsfortheQuantitativeAnalysisofHomogeneousMaterials)
ISO/TR18394:2006 表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息来源(SurfaceChemical
Analysis—AugerElectronSpectrometers—DerivationofChemicalInformation)
ISO/TR19319:2003 表面化学分析 俄歇电子能谱和X 射线光电子谱 分析者对于横向分辨率、分析范围和样品观察范围的测定(SurfaceChemicalAnalysis—AugerEletronSpectroscopyandXrayPhotoelectronSpectroscopy—
DeterminationofLateralResolution,Analysis Area,andSample
AreaViewedbytheAnalyser)
ASTM E1078—2002 表面分析中制样和装样的标准指南(StandsardGuideforSpecimenPreparationandMountinginSurfaceAnalysis)
ASTM E1829—2002 表面分析前样品处理标准指南(StandsardGuideforHandlingSpecimens
PriortoSurfaceAnalysis)